JPH0799266A - 半導体パッケージ - Google Patents

半導体パッケージ

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JPH0799266A
JPH0799266A JP6154341A JP15434194A JPH0799266A JP H0799266 A JPH0799266 A JP H0799266A JP 6154341 A JP6154341 A JP 6154341A JP 15434194 A JP15434194 A JP 15434194A JP H0799266 A JPH0799266 A JP H0799266A
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housing cavity
heat
vlsi
die
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JP6154341A
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Deviprasad Malladi
デビプラサド・マラディ
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    • H10W40/22—Arrangements for cooling characterised by their shape, e.g. having conical or cylindrical projections
    • H—ELECTRICITY
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 高い電力が供給されるＶＬＳＩダイを熱散
逸率が高く、表面実装可能で低コストであるようにパッ
ケージする。 【構成】 高い電力が供給されるＶＬＳＩダイをパッ
ケージするために基板と、アクセス空洞を有するヒート
・スラグと、蓋と、ステムを有するヒートシンクとが用
いられる。基板はその中心部にステップ付きのハウジン
グ空洞と、下側に配列された多数の電気接点とを備えて
いる。高い電力が供給されるＶＬＳＩダイの非起動側
と、基板の上面と下側面の開口部と、アクセス空洞を含
むヒート・スラグと、ヒートシンクのステムと蓋とのサ
イズと幾何学的位置は、供給される電力とヒートシンク
の熱伝導率とを考慮して相互に適応化されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体パッケージングの
分野に関し、特に表面実装可能なパッケージングに関す
る。より詳細には、本発明は熱散逸率が高く、表面実装
が可能であるように高出力超大規模集積（ＶＬＳＩ）半
導体ダイのパッケージングに関する。
【０００２】
【従来の技術】比較的新型のボール格子アレイ（ＢＧ
Ａ）パッケージは半導体パッケージングの分野では公知
である。比較的新型のＢＧＡにはそれよりも旧式のピン
格子アレイ（ＰＧＡ）設計及び表面実装技術と比較して
利点を有している。代表的には、基本的な表面実装形半
導体パッケージはＶＬＳＩダイと、基板と、ヒート・ス
ラグと、蓋と、ヒートシンクとを備えている。基板はそ
の中心部にステップ付きの空洞を、又、下側には電気接
点を有している。電気接点はＰＧＡとＢＧＡのいずれの
形式でもよい。最初にヒート・スラグが接着剤を用いて
基板の上側に取付けられる。次に熱伝導接着剤の第１の
薄膜層を用いてＶＬＳＩダイの非起動側がヒート・スラ
グの下側に取付けられ、次にＶＬＳＩダイのリード線が
基板に結線される。さらに基板の下側の空洞開口部に蓋
が取付けられ、ＶＬＳＩダイの起動側が防護される。次
に下側の電気接点をＰＷＢ上のランド・パターンでの相
反形電気接点と連結することによって、半導体パッケー
ジが印刷配線板（ＰＷＢ）に表面実装される。最後に、
熱伝導接着剤の第２の層を用いてヒートシンクがヒート
・スラグの上側に取付けられる。
【０００３】ＶＬＳＩダイの非起動側と、ヒートシンク
とをヒート・スラグの対向側に取付けるために熱伝導接
着剤が使用されるが、それでも経験上、熱伝導接着剤の
各層によって基板の密封された空洞内での温度は約０．
５Ｃ／Ｗだけ上昇することが判明している。従って、６
０又は７０ワットの電力が供給されるＶＬＳＩダイの場
合、熱伝導接着剤の一つの層によって基板の密封された
空洞内の温度は約３０から３５℃だけ上昇する。動作中
のＶＬＳＩダイによって発生される熱はＶＬＳＩダイ及
びその近隣の電子部品の性能及び信頼性にとって有害で
あることはよく知られている。冷却空気又は冷却液を満
たした冷却管の埋設を含む種々の熱除去技術が公知であ
り、基板の密封空洞内の温度を低下させるために使用で
きる。しかし、これらの技術によって半導体パッケージ
の複雑さとコストが高まる場合が多い。
【０００４】別の方法としては基板の上側にヒートシン
クを取付けた後で、ＶＬＳＩダイの非起動側を直接ヒー
トシンクに取付ける方法がある。しかし、現在市販され
ているワイヤボンディング式パッケージング装置は一般
に大きいヒートシンクを取り付けた基板を処理すること
ができないので、ＶＳＬＩダイのリード線を基板の配線
面に結線するための別の方法が講じられるか、カスタマ
イジングされたワイヤボンディング装置を備える必要が
ある。更に、仮に取付けられたヒートシンクに適応する
ようにワイヤボンディング装置を容易且つ低コストで修
正できるにしても、表面実装装置には問題が残る。すな
わち、基板の電気接点がＢＧＡである場合、取付けられ
たヒートシンクによってＢＧＡの凸面が閉塞され、この
凸面をＰＷＢのランド・パターン上に溶接する際に表面
実装装置がレーザー・ビームを凸面上に集束することが
妨害される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従って、熱散逸率が高
く、表面実装可能で低コストであるように高い電力が供
給されるＶＬＳＩダイをパッケージすることが望まし
い。後述するように、本発明は所望の結果を有利に達成
する上記のような半導体パッケージを提供するものであ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】所望の結果は、基板と、
アクセス可能な空洞を有するヒート・スラグと、蓋と、
ステムを有するヒートシンクとを以て高い電力が供給さ
れるＶＳＬＩダイをパッケージングすることによって有
利に達成される。基板はその中心部のステップ付きのハ
ウジング空洞と、下側に配置された多数のデッキ接点と
を備えている。高電力が供給されるＶＬＳＩダイの非起
動側と、基板のステップ付きのハウジング空洞の上面と
下側の開口部と、アクセス空洞を含むヒート・スラグ
と、蓋とのサイズと、幾何学的な位置とは供給電力及び
ヒートシンクの熱伝導率を考慮して相互に適応化されて
いる。
【０００７】先ず接着剤を用いてヒート・スラグが基板
のステップ付きのハウジング空洞の上側開口部を一部覆
うように基板の上側に取付けられる。高電力を供給され
るＶＬＳＩダイは熱伝導接着剤の薄膜層を用いてヒート
・スラグのむくの部分に取付けられ、高電力を供給され
るＶＬＳＩダイのリード線が標準型の修正されないワイ
ヤボンディング装置を用いてＰＷＢの配線面に結線され
る。次に基板のステップ付きのハウジング空洞の下側の
開口部に蓋が取付けられ、高電力が給電されるＶＬＳＩ
ダイの起動側が防護される。次に標準型の表面実装装置
を用いて基板がＰＷＢのランド・パターンに表面実装さ
れる。最後に、熱伝導接着剤の薄膜層を用いてヒートシ
ンクが高電力が給電されるＶＬＳＩダイの露出した非起
動側に取付けられ、それによってステムが熱と接触し、
熱伝導接着剤の一つの層だけを通して熱を直接伝達して
これを除去する。
【０００８】別の実施例では、アクセス空洞を有するヒ
ート・スラグは基板のステップ付きのハウジング空洞の
最上段として基板と一体に形成される。この実施例で
は、高電力が供給されるＶＬＳＩダイは前記の実施例と
は異なり、熱伝導接着剤の薄膜層を用いて基板のステッ
プ付きのハウジング空洞の前記最上段に直接取付けられ
る。
【０００９】
【実施例】次に、本発明を完全に理解するための説明と
して、本発明の特定の部品、材料及び構成を開示する。
しかし、本発明はこのような特定の細部を採用しなくと
も実施できることが専門家には理解されよう。別の実施
例では、本発明を不要に曖昧にしないために、公知のシ
ステムは概略図又は構成図で説明する。
【００１０】ここで図１−図４を参照すると、本発明の
半導体パッケージ１０はＶＩＳＬダイ１２と、基板１４
と、ヒート・スラグ１６と、蓋１８と、ヒートシンク２
０とを備えている。ＶＩＳＬダイ１２には動作中に大量
の電力Ｗが給電される。本発明の場合、Ｗが６０ワット
を超える場合に大量の電力と見なす。ＶＩＳＬダイ１２
は起動側４４の外縁部に沿って多数の結合パッド２８が
配列されている。実際には、結合パッド２８の数は図示
した数よりも大幅に多い。下記の説明から明らかである
ように、本発明はＶＩＳＬダイ１２の外部寸法を変更し
ても実施できるが、ＶＩＳＬダイ１２の外部寸法はヒー
ト・スラグ１６が必要とする支持面領域３２と、ヒート
シンク２０が必要とする接触面領域４６とを確保できる
充分な寸法でなければならない。支持面領域３２と接触
面領域４６については後に詳述する。
【００１１】基板１４はハウジング空洞２２と、少なく
とも一つの配線面（図示せず）と、複数個の電気接点２
４とを備え、ＶＩＳＬダイ１２を載置し、ＶＩＳＬダイ
１２とＰＷＢ（図示せず）との電気的接触を行うように
構成されている。基板１４はポリイミド、ＦＲ４、ＢＴ
及び銅等の公知の材料から成っている。電気接点２４は
基板１４の下側２６に配列されている。電気接点２４は
表面実装技術を用いて半導体パッケージ１０をＰＷＢ上
に実装するのに適している。ＢＧＡ凸面が図示されてい
るが、電気接点２４はＰＧＡの形式でもよいことが理解
されよう。ハウジング空洞２２は複数個のステップを設
けており、少なくとも一つのステップ３４は少なくとも
一つの配線面を部分的に露出している。ステップ付きの
ハウジング空洞２２は基板１４の中心部に設けられてい
る。ステップ付きのハウジング空洞２２の上面開口部３
６の内部寸法はＶＩＳＬダイ１２の外部寸法よりも大き
くされ、ハウジング空洞２２がその上面開口部３６でＶ
ＩＳＬダイ１２を受容できるようにされている。
【００１２】蓋１８は下側開口部３８を閉じることによ
って、ＶＩＳＬダイ１２の起動側４４を防護する。蓋１
８はセラミックや金属等の種々の公知の壊れにくい材料
から製造できる。蓋１８の外側の寸法は基板１４のステ
ップ付きのハウジング空洞２２の下側開口部の内部寸法
とほぼ同じであり、蓋１８がステップ付きのハウジング
空洞２２の下側開口部３８で基板１４とぴったりと適合
できるようにされている。本発明は蓋１８を使用するも
のとして説明しているが、以下の説明から明らかである
ように、本発明は蓋１８付きでも蓋なしでも実施でき
る。
【００１３】ヒート・スラグ１６は支持面領域３２のリ
ングと、ＶＬＳＩダイ１２を支持して直接熱を除去する
ために前記ＶＬＳＩダイ１２の前記非起動側４２にアク
セスするためのアクセス空洞とを備えている。ヒート・
スラグ１６は種々の公知の材料から製造できるが、材料
としては銅や、銅とタングステン又はモリブデンとの合
金のような、引張り強さと熱散逸率が高い材料が好まし
い。支持面領域３２のリングとアクセス空洞３０とはそ
れぞれヒート・スラグ１６の外縁部と中心部とに設けら
れている。ヒート・スラグ１６の外部寸法は、ヒート・
スラグ１６が基板１４の上面開口部３６に適合するよう
に基板１４のハウジング空洞２２の内部寸法よりも大き
い。ヒート・スラグ１６のアクセス空洞３０の内部寸法
はＶＬＳＩダイ１２の外部寸法よりも小さく、ヒート・
スラグ１６の外部寸法とアクセス空洞３０の内部寸法と
の差は、ＶＬＳＩダイ１２を基板１４のステップ付き空
洞２２の上面開口部３６で支持するための充分なむくの
支持面領域３２を備えるのに充分な差である。同時に、
ヒート・スラグ１６のアクセス空洞３０の内部寸法は、
ヒートシンク２０のステム４０と直接接触して熱が必要
な散逸率で除去されて閉じられたステップ付きハウジン
グ空洞２２内の温度を許容範囲のしきい値未満に保つた
めに、ＶＬＳＩダイ１２の非活性側４２の表面領域４６
を充分に露出するのに充分な大きさにされている。
【００１４】ヒートシンク２０は露出した表面領域４６
と、ＶＬＳＩダイ１２の非活性側４２とに直接接触し
て、動作中にＶＬＳＩダイ１２によって発生された熱を
除去するためのステム４０を備えている。ファン形のヒ
ートシンク２０を図示しているが、本発明はディスク形
のヒートシンクのような別の実施態様のヒートシンクを
用いても実施できることが理解されよう。あるいは、ヒ
ートパイプを使用してもよい。ヒートシンク２０は熱伝
導率Ｋを有する、アルミニウムや銅等の公知の熱伝導材
料製である。ステム４０はフィン形のヒートシンク２０
の下側５０に配されている。アクセス空洞３０がステム
４０を受容し、ステム４０がＶＬＳＩダイ１２の非起動
側と直接接触するように、ステム４０の外部寸法はヒー
ト・スラグ１６のアクセス空洞３０の内部寸法よりも小
さくされている。しかし、前述したように、ステム４０
の外部寸法は、ＶＬＳＩダイ１２の非起動側４４の充分
な表面領域４６と接触して熱が必要な散逸率で除去さ
れ、閉じられたステップ付きハウジング空洞２２内の温
度を許容範囲のしきい値未満に保つために、充分に大き
い寸法にされている。
【００１５】先ず、エポキシのような公知の接着剤を用
いてヒート・スラグ１６が基板１４のステップ付きハウ
ジング空洞２２の上面開口部３６を横切って基板１４に
取付けられ、接合部ではんだ付けによって補強される。
次に、同様の接着剤を用いてＶＬＳＩダイ１２がヒート
・スラグ１６に取付けられ、好適には工業規格に基づく
ワイヤボンディング式半導体パッケージング装置を用い
て、基板１４の少なくとも一つの配線面に結線される。
結線の後、ハウジング空洞２２にはエポキシ・ブロッブ
・トップのような密封剤が充填される。次にこの場合も
同じ接着剤を用いて蓋１８が基板１４のステップ付きハ
ウジング空洞２２の下側開口部３８を覆って基板１４に
取付けられる。引き続いてヒートシンク２０をＶＬＳＩ
ダイ１２に直接取付けることができるように、ＶＬＳＩ
ダイ１２に強度を与えるためにシーリングが必要であ
る。その他の公知のシーリング技術を利用してもよい。
次に、ヒートシンク２０を除いた密封された半導体パッ
ケージが好適に工業規格に基づく表面実装半導体パッケ
ージング装置を用いて、ＰＷＢのランド・パターンに表
面実装される。最後に、ミシガン州ミッドランドのドー
・コーニング社製の熱伝導接着剤３４０のような公知の
熱伝導接着剤の薄膜層を用いて、好適にヒートシンク２
０がＶＬＳＩダイ１２の非起動側４２の露出した表面領
域４６に取付けられる。その結果、ヒートシンク２０は
熱伝導接着剤の一つの層だけを介してＶＬＳＩダイ１２
から好適に熱を除去する。
【００１６】一実施例では、ＶＬＳＩダイ１２に供給さ
れる電力Ｗは７０ワットの大きさであり、ＶＬＳＩダイ
１２の外部寸法の大きさは１４ｍｍ×１４ｍｍである。
ステップ付きのハウジング空洞２２の上面開口部３６の
内部寸法の大きさは１３ｍｍ×１３ｍｍである。ステッ
プ付きのハウジング空洞２２の下側開口部３８と蓋１８
のの内部寸法の大きさは２１ｍｍ×２１ｍｍである。ヒ
ート・スラグ１６は銅製である。ヒート・スラグ１６の
外部寸法と、ヒート・スラグ１６のアクセス空洞３０の
内部寸法の大きさはそれぞれ２４ｍｍ×２４ｍｍと、１
３．２ｍｍ×１３．２ｍｍである。ヒートシンク２０は
熱伝導率が２０７ｗ／ｍＫであるアルミニウム製であ
り、ヒートシンク２０のフィン４８の外部寸法の大きさ
は４”×０．８”であり、ヒートシンク２０のステム４
０の外部寸法の大きさは１３ｍｍ×１３ｍｍである。ヒ
ートシンク２０をＶＬＳＩダイ１２の露出面領域に取付
けるために厚さが０．００１”のドー・コーニングの接
着剤３４０の薄層が使用される。経験上、５２ｍｍ×５
２ｍｍ×１０ｍｍの冷却ファンを用いることによって、
周囲温度（２４℃）の水準で基板１４のステップ付きハ
ウジング空洞２２の内部温度を好適に許容範囲のしきい
値である１００℃未満に保つことができることが判明し
ている。従前の経験では従来技術では、同一のヒートシ
ンクと同一の冷却ファンを用いた場合、基板１４のステ
ップ付きハウジング空洞２２内部の温度が周囲温度（２
４℃）の許容範囲のしきい値である１００℃未満に保つ
ことができるのは、ＶＬＩＳダイ１２が１２ｍｍ×１２
ｍｍよりも小さく（１２ｍｍ×１２ｍｍより小さいＶＬ
ＳＩダイ内では、これに比例してＶＬＳＩダイ内に集積
される電子部品の量は少なくなる。）、給電電力Ｗが６
０ワット未満である場合に限られることが明らかにされ
ている。
【００１７】ここで図５を参照すると、本発明の別の実
施例の横断面図が示されている。この別の実施例では、
基板１４ａはステップ付きハウジング空洞２２の最上段
５２として一体化された、アクセス空洞３０を有するヒ
ート・スラグ１６を備えている。ステップ付きハウジン
グ空洞２２の上面開口部３６ａの最上段５２のサイズと
幾何学的形状は、前述の実施例のヒート・スラグのアク
セス空洞３０及び基板上面開口部３６と同様に、ヒート
シンクのステム４０及びＶＬＳＩダイ１２と相互に適応
化されている。しかし、ＶＬＳＩダイ１２は熱伝導接着
剤を用いて直接ステップ付きハウジング空洞２２の最上
段５２に取付けられている。その他の点では、半導体パ
ッケージ１０は前述のものと同様に好適に組立てられて
いる。
【００１８】これまで本発明を現時点での推奨実施例と
別の実施例に関して説明してきたが、本発明が開示した
実施例に限定されるものではないことが専門家には理解
されよう。本発明の方法と装置は添付の特許請求項の範
囲内で修正と変更が可能である。従ってこれまでの説明
は本発明を限定するものではなく、例示するものである
ことを了解されたい。
【００１９】
【発明の効果】以上のように、ＶＬＳＩダイと、前記基
板のステップ付きのハウジング空洞の上面開口部と、ス
テムとのサイズが相互に適応化されることによって、ス
テムがＶＬＳＩダイの前記非起動側の充分に大きい表面
と接触して充分な熱散逸率で熱を除去し、基板の前記ス
テップ付きのハウジング空洞が動作中に許容範囲を超え
たしきい値以上の温度に上昇しないように保つことがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 低コストで熱散逸率が高く、表面実装可能な
本発明の半導体パッケージの分解正面透視図である。
【図２】 本発明の半導体パッケージの上面図である。
【図３】 本発明の半導体パッケージの底面図である。
【図４】 本発明の半導体パッケージの横断面図であ
る。
【図５】 本発明の半導体パッケージの別の実施例の横
断面図である。
【符号の説明】
１０ 半導体パッケージ、１２ ＶＬＳＩダイ、１４
基板、１６ ヒート・スラグ、１８ 蓋、２０ ヒート
シンク、２２ ハウジング空洞、２４ 電気接点、２６
基板下側、２８ 結合パッド、３４ ステップ、３６
上面開口部、３８ 下側開口部

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 半導体パッケージにおいて、 ａ）複数個の電気的結合パッドと、起動側と、非起動側
    とを有し、動作中には電力Ｗが印加されるＶＬＳＬ半導
    体ダイと； ｂ）ハウジング空洞と、少なくとも一つの配線面と、複
    数個の電気接点とを有し、前記ＶＬＳＩダイを載置し、
    これをＰＷＢに電気的に接続するための基板であって、
    前記ハウジング空洞が上面開口部と、下側の開口部と、
    複数のステップとを有し、そのステップの少なくとも一
    つが前記少なくとも一つの配線面の少なくとも一部を露
    出させて前記基板の中心部に設けられており、前記ＶＬ
    ＳＩダイが前記ステップ付きの前記ハウジング空洞の前
    記上面開口部に受容され、前記少なくとも一部が露出さ
    れた前記少なくとも一つの配線面で結線され、且つシー
    ル材で密封されており、前記電気接点が前記半導体パッ
    ケージを前記ＰＥＢに表面実装するのに適した構成であ
    る前記基板と、 ｃ）支持面領域のリングと、前記ステップ付きのハウジ
    ング空洞の前記上面開口部で前記ＶＬＳＩダイを支持
    し、前記ＶＬＳＩダイの前記非起動側にアクセスするた
    めのアクセス空洞とを有するヒート・スラグであって、
    前記ヒート・スラグの前記支持面領域のリングと、前記
    基板の前記ステップ付きハウジング空洞の前記上面開口
    部と、前記ＶＬＳＩダイとのサイズが相互に適応化され
    ている前記ヒート・スラグと、 ｄ）前記ヒート・スラグの前記アクセス空洞を通して前
    記ＶＬＳＩの前記非起動側にアクセスし、これと接触
    し、且つ動作中に前記ＶＬＳＩによって発生された熱を
    除去するためのステムを有する、熱伝導率Ｋを有する熱
    伝導材料から成るヒートシンクであって、前記ＶＬＳＩ
    ダイと、前記基板の前記ステップ付きのハウジング空洞
    の前記上面開口部と、前記アクセス空洞と、前記ステム
    とのサイズが相互に適応化されることによって、前記ス
    テムが前記Ｗと前記Ｋとを考慮して前記ＶＬＳＩダイの
    前記非起動側の充分に大きい表面と接触して充分な熱散
    逸率で熱を除去し、前記基板の前記ステップ付きのハウ
    ジング空洞が動作中に許容範囲を超えたしきい値以上の
    温度に上昇しないように保つことができる構成のヒート
    シンク、とを備えたことを特徴とする半導体パッケー
    ジ。
  2. 【請求項２】 前記半導体パッケージが更に、 ｅ）前記基板の前記ステップ付きのハウジング空洞の前
    記下側開口部を閉じるための蓋を備え、前記蓋と前記基
    板の前記ステップ付きのハウジング空洞とのサイズが相
    互に適応化されたことを特徴とする請求項１記載の半導
    体パッケージ。
  3. 【請求項３】 半導体パッケージにおいて、 ａ）複数個の電気的結合パッドと、起動側と、非起動側
    とを有し、動作中に電力Ｗが印加されるＶＬＳＬ半導体
    ダイと、 ｂ）ハウジング空洞と、少なくとも一つの配線面と、複
    数個の電気接点とを有し、前記ＶＬＳＩダイを支持し、
    且つ受容し、これをＰＷＢに電気的に接続するための基
    板であって、前記ハウジング空洞が上面開口部と、下側
    の開口部と、複数のステップとを有し、そのステップの
    少なくとも一つが前記少なくとも一つの配線面の少なく
    とも一部を露出させて前記基板の中心部に設けられてお
    り、前記ＶＬＳＩダイが前記ステップ付きのハウジング
    空洞の最上段のステップに受容されるように取付けら
    れ、前記少なくとも一部が露出された前記少なくとも一
    つの配線面に結線され、且つシール材で密封されてお
    り、前記電気接点が前記半導体パッケージを前記ＰＥＢ
    に表面実装するのに適しており、前記基板の前記ステッ
    プ付きハウジング空洞の前記上面開口部と、前記最上段
    のステップと、前記ＶＬＳＩダイとのサイズが相互に適
    応化された構成である前記基板と、 ｃ）前記基板の前記上面開口部を通して前記ＶＬＳＩの
    前記非起動側にアクセスし、これと接触し、且つ動作中
    に前記ＶＬＳＩによって発生された熱を除去するための
    ステムを有する、熱伝導率Ｋを有する熱伝導材料から成
    るヒートシンクであって、前記ＶＬＳＩダイと、前記基
    板の前記ステップ付きのハウジング空洞の前記上面開口
    部と、前記ステムとのサイズが相互に適応化されること
    によって前記ステムが前記Ｗと前記Ｋとを考慮して前記
    ＶＬＳＩダイの前記非起動側の充分に大きい表面と接触
    して充分な熱散逸率で熱を除去し、前記基板の前記ステ
    ップ付きのハウジング空洞が動作中に許容範囲を超えた
    しきい値以上の温度に上昇しないように保つことができ
    る構成のヒートシンク、とを備えたことを特徴とする半
    導体パッケージ。
  4. 【請求項４】 前記半導体パッケージが更に、 ｄ）前記基板の前記ステップ付きのハウジング空洞の前
    記下側開口部を閉じるための蓋を備え、前記蓋と前記基
    板の前記ステップ付きのハウジング空洞とのサイズが相
    互に適応化されたことを特徴とする請求項３記載の半導
    体パッケージ。
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