JPH083746A

JPH083746A - 金属膜体の製造方法及び製造装置

Info

Publication number: JPH083746A
Application number: JP14147194A
Authority: JP
Inventors: Osamu Yoshida; 修吉田; Noriyuki Kitaori; 典之北折; Hirohide Mizunoya; 博英水野谷; Shigemi Wakabayashi; 繁美若林; Akira Shiga; 章志賀
Original assignee: Kao Corp
Current assignee: Kao Corp
Priority date: 1994-06-23
Filing date: 1994-06-23
Publication date: 1996-01-09

Abstract

(57)【要約】【目的】酷いカールを改善でき、ヘッドとの当たりが
良い金属膜体の製造技術を提供することである。【構成】支持体上に金属膜が設けられてなる金属膜体
の製造方法であって、支持体上に金属膜を設ける成膜工
程と、成膜後、表面に液体を付け、加熱、押圧する工程
とを具備する金属膜体の製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、金属膜体（例えば、金
属薄膜型の磁気記録媒体）の製造方法及び製造装置に関
するものである。

【０００２】

【発明の背景】磁気テープ等の磁気記録媒体には、非磁
性支持体であるフィルム上に磁性粉やバインダを溶剤中
に分散させた磁性塗料を塗布してなる塗布型のものと、
バインダを用いず、金属磁性粒子をフィルム上に堆積さ
せてなる金属薄膜型のものとがある。

【０００３】これらの中、金属薄膜型の磁気記録媒体
は、磁性層にバインダを含まないことから、磁性材料の
充填密度が高く、高密度記録に適したものであると言わ
れている。ところで、これら金属薄膜型の磁気記録媒体
は、通常、カールしていることが多い。そして、カール
は、磁気ヘッドとの当たりを悪くすることから、除去す
ることが要望されている。この為、カールを除去する為
の処置が採られている。例えば、加熱によってカールを
除去することが試みられている。

【０００４】しかしながら、この提案の加熱手段では、
短時間のうちにカール除去をすることが出来ず、従って
実用化には適していなかった。

【０００５】

【発明の開示】本発明の目的は、酷いカールを改善で
き、ヘッドとの当たりが良い金属膜体の製造技術を提供
することである。この本発明の目的は、支持体上に金属
膜が設けられてなる金属膜体の製造方法であって、支持
体上に金属膜を設ける成膜工程と、成膜後、表面に液体
を付け、加熱、押圧する工程とを具備することを特徴と
する金属膜体の製造方法によって達成される。

【０００６】又、支持体上に金属膜が設けられてなる金
属膜体の製造装置であって、真空中で支持体上に金属膜
を設ける成膜手段と、真空槽と、この真空槽内に配設さ
れた加熱ロールと、この加熱ロールに沿って金属膜体を
走行させる走行手段と、金属膜体に液体を付ける手段と
を具備することを特徴とする金属膜体の製造装置によっ
て達成される。

【０００７】尚、上記の発明において、成膜および加熱
工程は真空中で行われることが好ましい。又、加熱工程
は、加熱ロールの表面をテンションをかけて走行させる
ものであり、加熱ロール位置あるいは前位置において液
体を付けるものであることが好ましい。

【０００８】そして、金属膜体と加熱ロールとの関係
は、金属膜体における凸にさせたい側が外側になるよう
加熱ロールに添接させて走行させるものであることが好
ましい。又、用いられる液体は、例えばメタノールやエ
タノールのようなアルコール、アセトン、メチルエチル
ケトン、トルエン、シクロヘキサノンのような有機性の
液体が挙げられる。中でも、エタノールのような揮発性
の高い液体（沸点が低い。例えば、沸点が１００℃以
下、望ましくは８０℃以下）が好ましい。

【０００９】本発明は、金属薄膜型の磁気記録媒体に適
用され得る。すなわち、支持体の一面に金属磁性膜が設
けられた金属薄膜型の磁気記録媒体、あるいは支持体の
他面に金属バックコート膜が設けられた金属薄膜型の磁
気記録媒体に適用され得る。このような金属薄膜型の磁
気記録媒体における支持体としては、例えばＰＥＴ等の
ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリスルフォ
ン、ポリカーボネート、ポリプロピレン等のオレフィン
系の樹脂、セルロース系の樹脂、塩化ビニル系の樹脂と
いった高分子材料などが用いられる。

【００１０】支持体の一面側に設けられる金属磁性膜を
構成する磁性粒子の材料としては、例えばＦｅ，Ｃｏ，
Ｎｉ等の金属の他に、Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｃｏ−Ｐｔ合
金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆｅ−Ｃｏ合金、Ｆｅ−Ｎ
ｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｂ合金、
Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｃｒ合金、あるいは
これらにＡｌ等の金属を含有させたもの等が用いられ
る。

【００１１】又、支持体の他面側に設けられる非磁性膜
（バックコート膜）を構成する金属粒子の材料として
は、例えばＣｕ−Ａｌ−Ｘ（但し、ＸはＭｎ，Ｆｅ，Ｎ
ｉの群の中から選ばれる一つ、若しくは二つ以上）系合
金やＡｌ−Ｓｉ系合金等が用いられる。又、Ａｌ，Ｚ
ｎ，Ｓｎ，Ｎｉ，Ａｇなどの金属も用いられる。尚、Ｃ
ｕ−Ａｌ−Ｘ（但し、ＸはＭｎ，Ｆｅ，Ｎｉの群の中か
ら選ばれる一つ、若しくは二つ以上）系合金におけるＡ
ｌ含有量はＡｌ含有量は５〜３０ａｔ％であり、Ｘ含有
量が５ａｔ％以下であることが好ましい。特に、好まし
くはＣｕ含有量は７０〜９０ａｔ％、Ａｌ含有量は８〜
２５ａｔ％、Ｍｎ含有量が０．５〜４ａｔ％で、Ｆｅ含
有量が０．４〜５ａｔ％で、Ｎｉ含有量が０．４〜４ａ
ｔ％であり、Ｍｎ，Ｆｅ，Ｎｉの総含有量が１〜６ａｔ
％であることが好ましい。又、Ａｌ−Ｓｉ系合金におけ
るＡｌ含有量は１５〜７０ａｔ％、Ｓｉ含有量が１５〜
７０ａｔ％であることが好ましい。

【００１２】金属磁性膜やバックコート膜は、蒸着手段
のような乾式メッキ手段が採用されて成膜される。尚、
金属磁性膜やバックコート膜いずれもが金属膜で構成さ
れたものであっても、これらのいずれか一方が金属膜で
構成されたものであっても良い。そして、いずれもが金
属膜で構成される場合には、どちらが先に成膜されても
良い。

【００１３】これらの金属膜が成膜された後にあって
は、通常、カールが起きている。そこで、本発明の技術
が適用される。そうすると、応力緩和が迅速、かつ、効
果的になされ、カールが適度に解消されるようになる。
例えば、磁性膜の側が凸状で、そのカール率が５〜１５
％程度のものとなる。尚、このようなカール具合のもの
にしていると、磁気ヘッドとの当たりが良くなり、再生
特性が良かった。従って、前記のようなカール度となる
ように加熱温度、テンション度合い（押圧具合）、液体
を適宜選択すれば良い。

【００１４】そして、上記にあっては磁気記録媒体の例
で説明しているが、本発明は金属薄膜型のインクリボン
等にも適用できる。以下、具体的な実施例を挙げて説明
する。

【００１５】

【実施例】図１〜図３は本発明に係る金属膜体の製造装
置（磁気記録媒体製造装置）の実施例を示すもので、図
１は全体のブロック図、図２は金属膜を成膜する為の蒸
着装置の概略図、図３は金属膜体のカール除去装置の概
略図である。各図中、Ａは蒸着装置、１は冷却キャンロ
ール、２は支持体３の供給側ロール、４は遮蔽板、５は
酸素ガス供給ノズル、６はルツボ、７はルツボ６内に充
填された金属材料（例えば、磁性金属材料）、８は電子
銃、９は真空槽である。

【００１６】Ｂはカール除去装置、１１は加熱ロール、
１２は磁性金属薄膜が設けられた支持体３の巻取側ロー
ル、１３は塗布ヘッド、１４は塗布ヘッド１３に液体
（エタノール）を供給するポンプ、１５は液体（エタノ
ール）タンク、１６は真空槽である。上記のように構成
させた装置において、真空槽９内を１０^-4〜１０^-6Ｔｏ
ｒｒ程度の真空度のものに排気した後、電子銃８からの
ビーム加熱によりルツボ６内の磁性金属材料を溶融、蒸
発させ、冷却キャンロール１に添接されて走行する支持
体３に対して０．０４〜１μｍ厚さ磁性金属を蒸着させ
ることによって金属薄膜型の磁気記録媒体の原反Ｇが製
造される。尚、磁性薄膜の形成に際して、蒸着部分に酸
素ガス供給ノズル５から酸素を供給し、強制酸化させる
ことによって磁性薄膜の表層部分を酸化させ、酸化膜に
よる保護層を形成する。

【００１７】そして、原反Ｇは真空槽１６に案内され、
金属磁性膜の側が外側になるよう加熱ロール１１に添接
される。この時、金属磁性膜には塗布ヘッド１３が摺接
されている為、金属磁性膜にはエタノールが塗布され
る。そして、テンションが掛かった状態（加熱ロール１
１に圧着された状態）で走行し、巻取側ロール１２に巻
き取られて行く。

【００１８】このようにして、巻き取られた後にあって
は、カール度合いが低くなっており、このものは磁気ヘ
ッドとの当たりが良いものとなっていた。上記実施例に
あっては、エタノールを用いた場合で説明したが、エタ
ノールの代わりにメタノールやメチルエチルケトンのよ
うな揮発性が高い有機溶剤を用いても同様な結果が得ら
れた。

【００１９】又、上記実施例はバックコート膜を設けて
いない場合であったが、磁性金属膜及び非磁性金属膜
（バックコート膜）が設けられた後、カール除去装置Ｂ
によってカール度合いの調整を行っても同様な結果が得
られた。但し、磁性金属膜と非磁性金属膜の種類によっ
ては、磁性金属膜の側が凹のカールであったり、凸のカ
ールであったりするので、その状態によってどちらの側
を加熱ロール１１に添接するか決めれば良い。

【００２０】図４は、本発明に係る金属膜体の製造装置
（磁気記録媒体製造装置）の要部（金属膜体のカール除
去装置）の概略図である。本実施例のものは、前記実施
例のものが塗布ヘッドを用いたものであるのに対して、
例えば超音波式の噴霧装置１７を用いた点、及び供給側
ロール１８を設けた点（従って、蒸着装置Ａと連続して
設ける必要がなく、独立していても良い）が異なるに過
ぎず、その他の基本的な技術思想は同じなので、詳細な
説明は省略する。尚、１９は、吹き付けられたエタノー
ルを均一にする為の３２μｍ厚のＰＥＴ製フィルムスム
ーザーである。

【００２１】

【効果】本発明によれば、ヘッド当たりに優れた金属膜
体が効率良く得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る金属膜体の製造装置全体のブロッ
ク図

【図２】蒸着装置の概略図

【図３】金属膜体のカール除去装置の概略図

【図４】金属膜体のカール除去装置の概略図

【符号の説明】

Ａ蒸着装置Ｂカール除去装置１１加熱ロール１２巻取側ロール１３塗布ヘッド１４液体（エタノール）供給ポンプ１５液体（エタノール）タンク１６真空槽１７噴霧装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者若林繁美栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株式会社情報科学研究所内 (72)発明者志賀章栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株式会社情報科学研究所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】支持体上に金属膜が設けられてなる金属
膜体の製造方法であって、支持体上に金属膜を設ける成
膜工程と、成膜後、表面に液体を付け、加熱、押圧する
工程とを具備することを特徴とする金属膜体の製造方
法。
【請求項２】成膜および加熱工程が真空中で行われる
ことを特徴とする請求項１の金属膜体の製造方法。
【請求項３】加熱工程は、加熱ロールの表面をテンシ
ョンをかけて走行させるものであり、加熱ロール位置あ
るいは前位置において液体を付けるものであることを特
徴とする請求項１または請求項２の金属膜体の製造方
法。
【請求項４】金属膜体における凸にさせたい側が外側
になるよう加熱ロールに添接させて走行させるものであ
ることを特徴とする請求項１〜請求項３いずれかの金属
膜体の製造方法。
【請求項５】液体が揮発性の高いものであることを特
徴とする請求項１または請求項３の金属膜体の製造方
法。
【請求項６】支持体上に金属膜が設けられてなる金属
膜体の製造装置であって、真空中で支持体上に金属膜を
設ける成膜手段と、真空槽と、この真空槽内に配設され
た加熱ロールと、この加熱ロールに沿って金属膜体を走
行させる走行手段と、金属膜体に液体を付ける手段とを
具備することを特徴とする金属膜体の製造装置。