JPS5950079A - セラミツク薄板の製造方法 - Google Patents
セラミツク薄板の製造方法Info
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- JPS5950079A JPS5950079A JP57158638A JP15863882A JPS5950079A JP S5950079 A JPS5950079 A JP S5950079A JP 57158638 A JP57158638 A JP 57158638A JP 15863882 A JP15863882 A JP 15863882A JP S5950079 A JPS5950079 A JP S5950079A
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- Japan
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- thin plate
- ceramic thin
- ceramic
- firing
- sheet
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Landscapes
- Ceramic Capacitors (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Insulating Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、薄板コンデンサの誘電導体等に使用するセ
ラミック薄板の製1造方法に関するものである。
ラミック薄板の製1造方法に関するものである。
セラミック薄板の従来から行なわれている!!!!造方
法行方法ラミック粉末とバインダを混合し、これを押出
し成形、ロール成形、ドクターブレード成形的・の手段
で、例えばQ、 l MW稈度の薄い薄板に成形[−1
この薄板を所要の大きさおよび形状に打抜いたものを焼
成するものである。
法行方法ラミック粉末とバインダを混合し、これを押出
し成形、ロール成形、ドクターブレード成形的・の手段
で、例えばQ、 l MW稈度の薄い薄板に成形[−1
この薄板を所要の大きさおよび形状に打抜いたものを焼
成するものである。
ところで、セラミック薄板を焼成すると、材料の結合や
成長等が原因で薄板そのものに反りや曲りが発生すると
いう問題があり、特に薄板が薄Nければ薄いほどこの問
題が顕著に現われ、反りや曲りを修正するために多くの
労力と時間が必要になる。
成長等が原因で薄板そのものに反りや曲りが発生すると
いう問題があり、特に薄板が薄Nければ薄いほどこの問
題が顕著に現われ、反りや曲りを修正するために多くの
労力と時間が必要になる。
従来、上記のような焼成時の反りや曲りを防止するため
、成形したセラミックの薄板を多数枚積み重ね、各薄板
間にジルコニア(ZrO2)粉体のような、誘電体材と
反応性が少なく、しかも焼成時に接着しない程度に分離
できる敷粉を挿入し、さらに積み重ねたものの上に錘を
載置し、加圧状態で焼成を行なうようにしていた。
、成形したセラミックの薄板を多数枚積み重ね、各薄板
間にジルコニア(ZrO2)粉体のような、誘電体材と
反応性が少なく、しかも焼成時に接着しない程度に分離
できる敷粉を挿入し、さらに積み重ねたものの上に錘を
載置し、加圧状態で焼成を行なうようにしていた。
しかし、各セラミック薄板間に敷粉を挿入する上記のよ
うな方法は、敷粉の散布が不均一になりやすく、薄板に
対する反りや曲りの発生を完全に防止することは困難で
あると共に、各薄板ごとに敷粉を散布しなければならな
いので作業性が悪く、作業コストが高くつくという問題
がある。
うな方法は、敷粉の散布が不均一になりやすく、薄板に
対する反りや曲りの発生を完全に防止することは困難で
あると共に、各薄板ごとに敷粉を散布しなければならな
いので作業性が悪く、作業コストが高くつくという問題
がある。
この発明は、上記のような問題を解消するためになされ
たものであυ、所望する形状のセラミッり薄板全長りや
曲りの発生のない状態で能率よく製作することができる
製造方法を提供することを目的とする。
たものであυ、所望する形状のセラミッり薄板全長りや
曲りの発生のない状態で能率よく製作することができる
製造方法を提供することを目的とする。
この発明の構成は、焼成時に誘電体制と接着しない程度
に分離できる材11 をバインダ中に充填して形成した
シートとセラミック薄板を交互に積重ね、この積み重ね
られたものを加圧させた状態で焼成し、焼成後前記薄板
やシートを分離することにより、反りや曲シのないセラ
ミック薄板を得ることができるようにしたものである。
に分離できる材11 をバインダ中に充填して形成した
シートとセラミック薄板を交互に積重ね、この積み重ね
られたものを加圧させた状態で焼成し、焼成後前記薄板
やシートを分離することにより、反りや曲シのないセラ
ミック薄板を得ることができるようにしたものである。
目下、この発明の製造方法を添付図面の実施例にもとづ
いて説明する。
いて説明する。
先づ、セラミックの誘電体粉末とバインダを混合し、こ
れをドクターブレード法等によって例えば厚み200μ
のセラミック薄板1に成形する。
れをドクターブレード法等によって例えば厚み200μ
のセラミック薄板1に成形する。
寸だ、上記薄板1に用いたと同じ結合剤もしくは異種の
結合剤を用い、焼成時に前記誘電体材と接着しない程度
に分離でき、1−かも誘電体材と反応性の少ない材料全
充填剤として混合したシート2を前記薄板1と同じ方法
で作成する。
結合剤を用い、焼成時に前記誘電体材と接着しない程度
に分離でき、1−かも誘電体材と反応性の少ない材料全
充填剤として混合したシート2を前記薄板1と同じ方法
で作成する。
上記充填剤としては、焼結ジルコニア粉末をあげること
ができ、シート2の組成を次に例示する。
ができ、シート2の組成を次に例示する。
上記のようにして得られた二種類の薄板とシー板を交互
に重ね合わせて積み重ね、積層体3を形成し、この積み
重ねられた4青層体3全上下から0.1〜2. Oto
n/cMの圧力で加圧して接着させる。
に重ね合わせて積み重ね、積層体3を形成し、この積み
重ねられた4青層体3全上下から0.1〜2. Oto
n/cMの圧力で加圧して接着させる。
この後、積層体3を加圧した状態で焼成台板4に載せ1
300〜1380°Cの温度で焼成し、焼成後に各薄板
およびシー)1.2’!に分離することにより、反りや
曲りのないセラミック薄板が得られることになる。
300〜1380°Cの温度で焼成し、焼成後に各薄板
およびシー)1.2’!に分離することにより、反りや
曲りのないセラミック薄板が得られることになる。
なお、焼成後における各薄板およびシート1.2の分離
は、例えば超音波等により全体に振動を与えて行なうよ
うにすれば分離作業の能率化をはかることができる。
は、例えば超音波等により全体に振動を与えて行なうよ
うにすれば分離作業の能率化をはかることができる。
捷だ上記の説明は、セラミック薄板として誘電体を示し
たが、この発明は決してこれに限られることはない。
たが、この発明は決してこれに限られることはない。
以上のように、この発明によると、焼成時にセラミック
4仮と接着しない程度に分離できる材料全バインダ中に
充填剤として混合して製作したシートとセラミック薄板
と全交互に重ね合せて積み市ね、この槓み重ねたものを
加圧した状態で焼成するようにしたので、セラミック薄
板を均一に加圧(また状態で焼成でき、反りや曲りのな
いセラミック薄板を容易に製油することができる。
4仮と接着しない程度に分離できる材料全バインダ中に
充填剤として混合して製作したシートとセラミック薄板
と全交互に重ね合せて積み市ね、この槓み重ねたものを
加圧した状態で焼成するようにしたので、セラミック薄
板を均一に加圧(また状態で焼成でき、反りや曲りのな
いセラミック薄板を容易に製油することができる。
やた、二種類の薄板およびシート金車に重ねるだけでよ
いので、従来のように各薄板間に敷粉を散布する必要が
なく、しかも薄板の槓by & i を自由に選べるの
で何枚でも同時にセラミック薄板が製造でき、従って反
りや曲りのないセラミック薄で焼成を行なっても接着す
ることがなく、焼成後における各薄板の分離全簡単に行
なうことができるという効果がある。
いので、従来のように各薄板間に敷粉を散布する必要が
なく、しかも薄板の槓by & i を自由に選べるの
で何枚でも同時にセラミック薄板が製造でき、従って反
りや曲りのないセラミック薄で焼成を行なっても接着す
ることがなく、焼成後における各薄板の分離全簡単に行
なうことができるという効果がある。
一図面はこの発明の製造方法における積層体焼成時を示
す斜面図である。 1・・・・・・セラミック薄板 2・・・・・・シー
ト3・・・・・・積層体 特許出願人 株式会社 村田製作所代理人 弁理士
和1)昭
す斜面図である。 1・・・・・・セラミック薄板 2・・・・・・シー
ト3・・・・・・積層体 特許出願人 株式会社 村田製作所代理人 弁理士
和1)昭
Claims (1)
- セラミック薄板と焼成時にこのセラミック薄板重ねたも
のを加圧軟部下で焼成することを特徴とする七ラミック
薄板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57158638A JPS5950079A (ja) | 1982-09-10 | 1982-09-10 | セラミツク薄板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57158638A JPS5950079A (ja) | 1982-09-10 | 1982-09-10 | セラミツク薄板の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5950079A true JPS5950079A (ja) | 1984-03-22 |
| JPS6156188B2 JPS6156188B2 (ja) | 1986-12-01 |
Family
ID=15676081
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57158638A Granted JPS5950079A (ja) | 1982-09-10 | 1982-09-10 | セラミツク薄板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5950079A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60246269A (ja) * | 1984-05-18 | 1985-12-05 | 東北金属工業株式会社 | セラミツク薄板の製造方法 |
| JPS61117161A (ja) * | 1984-11-09 | 1986-06-04 | 株式会社東芝 | 窒化アルミニウムセラミツクスの製造方法 |
| JPS61158881A (ja) * | 1984-12-28 | 1986-07-18 | 株式会社東芝 | 窒化アルミニウムセラミツクスの矯正方法 |
| JPH01167274A (ja) * | 1987-12-24 | 1989-06-30 | Tokai Carbon Co Ltd | 不透過性炭素プレートの製造方法 |
| JPH05503498A (ja) * | 1990-01-18 | 1993-06-10 | イー・アイ・デュポン・ドゥ・ヌムール・アンド・カンパニー | グリーンセラミック体の焼成中の収縮を減少させる方法 |
| WO2006120883A1 (ja) * | 2005-05-10 | 2006-11-16 | Murata Manufacturing Co., Ltd | 薄膜キャパシタの製造方法 |
| CN102012161A (zh) * | 2010-09-20 | 2011-04-13 | 徐平 | 一种陶瓷薄板叠置的热处理装置及该装置的使用方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4721069B2 (ja) * | 2005-06-14 | 2011-07-13 | 株式会社村田製作所 | セラミック板の製造方法 |
-
1982
- 1982-09-10 JP JP57158638A patent/JPS5950079A/ja active Granted
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|---|---|---|---|---|
| JPS60246269A (ja) * | 1984-05-18 | 1985-12-05 | 東北金属工業株式会社 | セラミツク薄板の製造方法 |
| JPS61117161A (ja) * | 1984-11-09 | 1986-06-04 | 株式会社東芝 | 窒化アルミニウムセラミツクスの製造方法 |
| JPS61158881A (ja) * | 1984-12-28 | 1986-07-18 | 株式会社東芝 | 窒化アルミニウムセラミツクスの矯正方法 |
| JPH01167274A (ja) * | 1987-12-24 | 1989-06-30 | Tokai Carbon Co Ltd | 不透過性炭素プレートの製造方法 |
| JPH05503498A (ja) * | 1990-01-18 | 1993-06-10 | イー・アイ・デュポン・ドゥ・ヌムール・アンド・カンパニー | グリーンセラミック体の焼成中の収縮を減少させる方法 |
| WO2006120883A1 (ja) * | 2005-05-10 | 2006-11-16 | Murata Manufacturing Co., Ltd | 薄膜キャパシタの製造方法 |
| KR100925656B1 (ko) | 2005-05-10 | 2009-11-09 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 박막 커패시터의 제조방법 |
| US7771552B2 (en) | 2005-05-10 | 2010-08-10 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method for manufacturing thin film capacitor |
| CN102012161A (zh) * | 2010-09-20 | 2011-04-13 | 徐平 | 一种陶瓷薄板叠置的热处理装置及该装置的使用方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6156188B2 (ja) | 1986-12-01 |
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