JPS6040193B2 - トライアツク - Google Patents

トライアツク

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JPS6040193B2
JPS6040193B2 JP55158066A JP15806680A JPS6040193B2 JP S6040193 B2 JPS6040193 B2 JP S6040193B2 JP 55158066 A JP55158066 A JP 55158066A JP 15806680 A JP15806680 A JP 15806680A JP S6040193 B2 JPS6040193 B2 JP S6040193B2
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JP
Japan
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layer
emitter
thyristor
base layer
emitter layer
Prior art date
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JP55158066A
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English (en)
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JPS5683071A (en
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フ−ベルト・パタロング
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Siemens Corp
Original Assignee
Siemens Corp
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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10DINORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
    • H10D18/00Thyristors
    • H10D18/80Bidirectional devices, e.g. triacs 
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10DINORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
    • H10D84/00Integrated devices formed in or on semiconductor substrates that comprise only semiconducting layers, e.g. on Si wafers or on GaAs-on-Si wafers
    • H10D84/101Integrated devices comprising main components and built-in components, e.g. IGBT having built-in freewheel diode
    • H10D84/131Thyristors having built-in components
    • H10D84/138Thyristors having built-in components the built-in components being FETs

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  • Thyristors (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の属する技術分野〕 本発明は二つの電極の間に配された多層半導体素体を持
ち、その第一層が第一のサィリスタのPベース層と第二
のサィリスタのPェミッタ層を形成し、第二層が両サィ
リスタのNベース層を成しそして第三層が第一のサィリ
スタのPェミッタ層と第二のサィリスタのPベース層を
形成し、第一層の中に第一のサィリスタのNェミツタ層
が、第三層の中に第二のサィリスタのNェミッタ層がそ
れぞれ電極と接続された層として挿入されたトライアツ
クに関する。
〔従来技術とその問題点〕
例えば書籍アドルフ・ブリへル(AdolphB1ic
her)著、ベルリン、スブリンゲル出版社(Spr;
n鉾rVerlag)1978王発行、「サィリスタ物
理学(ThMistorPhysics)」133頁、
第1 1.2図から公知であるこのようなトライアツク
は、低い転流dv/dt値においてだけしか用いること
のできない欠点を有する。
電極に印加される電圧がその受電位通過の近傍で著しく
急速に変化するならば、調整されたスイッチング動作は
もはや不可能である。制御可能なヱミッタショート略は
サィリスタに関して米国特許第324366y号明細書
から公知である。
しかしトライアック多層構造にまとめられた一つのサィ
リスタの結合特性への影響の論及はこの公刊物からは察
知できない。〔発明の目的〕 本発明の目的は高し、転流dv/dt値においても問題
のないスイッチング動作を保証する最初に述べた種類の
トライアックを提供することにある。
〔発明の要点〕本発明はトライアックが第一のサィリス
タのNヱミツタ層の上および第二のサィリスタのPェミ
ッタ層の上で両サィリスタの境界範囲の中に制御可能な
ェミッタショート路を含むゲート制御のMIS構造を備
え、該MIS構造をェミッタショート路がそれに属する
ェミッタ層と接触する電極と接続された第一の導電形の
第一の半導体領域と、それに属するェミッタ層に隣接す
るベース層と接続された第一の導電形の第二の半導体領
域と、これらの領域の間に位置して半導体素体に対し電
気的に絶縁されたゲートによって覆われた第二の導電形
の中間点とからなり、このェミッタショート路の第一の
半導体領域がそれに属するェミッタ層の緑区域においた
半導体秦体の界面まで延び、この界面でェミッタ層と接
触する電極と導電的に接続されているように挿入され、
第二の半導体領域が界面の中まで延びる隣接ベース層の
一区域からなりそして中間届がェミッタ区域の一部分か
らなる構成を有するものである。
本発明によって得ることができる利益は、トライアツク
にまとめられた両サイリスタの十分に不干渉な結合が達
せられることにあり、その結果スイッチング動作が電極
間に印加される交流電圧のその零電位通過の近傍におけ
る変化速度により影響されなくなることにある。
そのほかに導通特性が、ェミツタショート路を用いて得
られる良好な結合のために、両サィIJス夕相互の結合
をよりよくする目的の付加的な再結合中心が組入れられ
る従来のトライアックとは有利に異なる。
〔発明の実施例〕
以下本発明を図を引用して詳細に説明する。
第1図にはトライアックが図示され、その素体は交互に
異なる導電形を有する、例えばドーピングされたシリコ
ンからなる半導体層より形成されている。P形層1は第
1図の左半分に示された第一のサィリスタのPベース層
laも、第1図の右半分に示された第二のサィリス夕の
Pヱミッ夕層lbを包含する。N形層2は両サィリスタ
のNベース層2aおよび2bを形成し、一方層3は左の
サィリスタのPェミッタ層3aと右のサィリスタのPベ
ース層3bを包含する。層laには第一のサイリスタの
Nェミッタ層NIが挿入され、一方層3bには第二のサ
ィリスタのNェミッタ層N2が挿入されている。層NI
およびlbは第一の電極の部分EIIおよびE12と接
続され、それらの部分は共通の端子LIに導かれる。他
方において層3aおよび3bは第二の電極E2と接続さ
れており、その電極は端子L2を有する。Nェミッタ層
NIの第1図における右側にある部分はそれぞれ第一の
電極の別の部分E13およびE14と接続された二つの
条状の層部分NIIおよびN12に配分されている。
同様にPェミッタ層lbの左側にある部分はそれぞれ第
一の電極の一つの部分E15およびE16を備えた二つ
の条状の層部分lblおよびlb2に配分されている。
条状の眉部分NI1,N12とlbl,lb2とは互に
平行で第1図の面に実質的に垂直に通り、第一の電極の
部分E13,E14,E15およびE16も同機である
。後者は部分EIIおよびE12と共に端子LIに導か
れている。層部分NIIの中にP型で半導体秦体の界面
Fまで延びる第一の半導体領域4が挿入されている。
それは界面で部分B13により接触される。符号5は界
面Fまで達し層NIおよびNIIに互に分離されるPベ
ース層laの区域からなるP形半導体領域部分を示す。
この半導体領域4と5の間にNIIの部分からなるN形
中間層6が存在する。この中間層6は界面Fに配置され
る例えばSi02からなる電気絶縁薄膜7によって覆わ
れており、その絶縁薄膜7にはゲート8を備えている。
ゲート8は端子GIと接続されている。部分4ないし8
はGIを介して制御できるMIS構造を形成する。これ
がディブリーション形に属するならば、ゲート8への電
圧の作用ないこP形の反転チャネル9が界面Fの領域4
および5の間に存在し、これら相互を導電的に接続する
。様子GIに正の制御電圧を印加するとこの反転チャネ
ル9はなくなる。MIS構造がェンハンスメント形であ
るならば、ゲート8に電圧のかからない場合には反転チ
ャネル9は存在しない。これはGIの負の制御電圧の印
加によって始めてゲート8の下側の中間層の反転により
構成される。反転チャネル9はそれ故制御可能なェミッ
タショート路を成すので、ベース層laと領域4、さら
にこの領域4に接する第一の電極の部分E13とを端子
GIから供給される制御電圧によって接続したりしなか
ったりする。P形領域10、例えばSi02からなる電
気絶縁層11およびGIとも接続されているゲート12
は、眉laと第一の電極の部分E13の間を通るェミッ
タショート路を同様に含む別のMIS構造を生ずる。反
転チャネル9からなる第一のェミッタショート路は層部
分NIIの左緑に配置されるのに対し、第二のェミッタ
ショート路はNIIの縁に存在する。同じように二つの
ェミッタショ−ト路がlaを選択的に部分E14と接続
する層。分N12の側に備えられる。別のェミッタショ
ート路は層2bを第一の電極の部分E15と、層部分2
bを第一の電極の部分E16と接続する。その際lbl
およびlb2の側方にあるMIS構造の符号の付してな
い個個のゲートの制御は共通の端子G2を介して行われ
る。最後に挙げたMIS構造の部分の導電形は肌S構造
4ないし7のそれと逆であるから、GIに加わる制御電
圧と逆の極性を持つ制御電圧を端子G2を介してそれぞ
れにも供給されるべきである。ェンハンスメント形のM
IS構造の場合にはェミッタショート路は端子GIおよ
びG2に電圧が印加されない場合にチャンネルが形成さ
れるので、それぞれ効力をもつ。
端子LIおよびL2に最初はLIの電位がL2の電位に
対して低い交流電圧を印加するならば、第一のサィリス
タはLIおよびL2への順方向の電圧の印加にも拘らず
LIおよびL2の間に負荷電流を通さないオフ状態にあ
る。熱的に発生した正孔はベース層laからMIS構造
による効力のあるェミッタショート路を介して第一の電
極E13,E14へ導かれるので、Nェミッ夕層部分N
IIおよびN12からはキャリャはベース層laに注入
されない。すなわち誤点弧しない。NIの符号のついた
ェミッ夕層の部分からもベース層laにこの正孔によっ
てはキャリャが注入されないように、NIにはいわゆる
公知の固定ェミッタショート路13が備えられている。
これは層NIIを貫通し界面Fまで達するベース層la
の部分からなり、その部分でェミッタ層laは部分EI
Iにより接続されている。
この固定ェミッタショート部の作用はその場合、常に効
力のあるようにふるまうMIS構造によ‐るェミッタシ
ョート路の効果と同一である。従って固定ヱミッタショ
ート略13の配置によってNIからもベース層laにキ
ャリャが注入されて謀点弧することはない。端子GIに
正のパルス電圧PIを導くならば、NIIとN12の側
部の制御可能なショート路は中断される。
層部分NIIおよびN12はキャリャをベース層laに
注入し始め、第一のサィリスタを点弧する。先ず層部分
NIIおよびN12の範囲でだけ始まるこの点弧はNェ
ミッタ層のNIの符号のついた部分に広がる。第2図か
ら見られるように負荷電流iしはPIの出現の後に流れ
始め、すなわち曲線14によって与えられる負荷流iL
の時間tとの関係を生ずる。右のサィリスタは時点t,
まで端子LIおよびL2を介して逆方向の樋性であり、
それ故点弧されず、それを介しては負荷電流の一部が流
れない。
右のサィリスタの層部分lblおよびlb2の側部に配
置されたヱミツタショート路は端子G2に電圧が加わっ
ていないためチャンネルが形成されていることにより効
力を持ってふるまうから、点弧された左のサィリスタの
範囲から両サィリスタの間の境界範囲に達したキャリャ
は部分E15およびE16を介して導かれる。これは左
のサィリスタがLIおよびL2に印加される電圧の零電
位通過のためにオフされ、右のサィリスタが順方向の極
性となるしより後の期間すなわち転流時にもあてはまる
。すなわち時点t.からt2の期間に第二サィリスタの
順方向電圧が印加されて生じる第一サィリスタの残留キ
ャリアによる電流は、チャンネルを通って部分E15,
E16を介して流れるので、第二サィリスタを譲点弧さ
せない。また高い転流dv/dtの印加も部分E15,
E16に流れる電流が急激に増加するだけで謀点弧には
あまり関係しない。時点t2になってG2に負のパルス
電圧P2が生じた際にはじめてlblおよびlb2の側
面に位瞳するェミツタショート略がオフされ、その結果
正孔はベース層2bからlblおよびlb2と2bとの
間のPN接合に達し、層lblおよびlb2がキャリア
をベース層2bに注入し、第二サィリスタを点弧状態と
する。従って時点ら‘こなって始めて右のサィリスタの
オフ状態からオン状態への変換が第2図の電流曲線から
も判るように始まる。時点t3になってLIとL2に印
加された電圧の次につづく零電位通過に至るまで第1図
における右のサィリスタは負荷電流iLが流れる。lb
lおよびlb2の側面に配置されたェミツタショート路
の上述の効果がないと、左のサィリスタから出て暦後か
ら層2bの領域に達するキャリアは早まった点弧を引き
起こすから時点t2の前に右のサィリスタの望ましくな
い点弧に至るだろう。
この場合には負荷電流iLは所望のようにt・とじの間
の期間に零が下がらないで、第2図に破線で記入された
ような曲線部分15に対応する。従ってトライアックの
正常なスイッチング動作が不可能である。第1図におい
て右側に示されているサィリスタの安定性をよりよくす
るために、Nェミッタ層N2に既に述べたやり方で固定
ショート部16が備えられている。
これもまた公知のように層N2の範囲において、t,か
らt2までの間隔における右のサィリスタの変位電流な
どによる望ましくない点弧を妨げる。本発明の発展に基
づき端子GIおよびG2を互に接続してもよい。
この場合複パルスP1,P2は第2図に対応して両端子
に共通に与えられる。トライアックの作動状態はこれに
よって変化しない。両サィリスタの点弧動作の支援と促
進のために本発明の一つの構成によれば両サィリスタの
一つのベース層に点孤軍極17を備える。
これは第1図によればPベースlaにも層laの内部に
あるN形制御領域18にも接触する。点弧電流回路ZI
の端子Zを介して電極17に達する正の点弧パルスP,
の出現の際にベースlaに点弧パルスが供給される。負
の点弧パルスP2′の出現の際にはキャリャは制御領域
18からベース層2bに達して右のサィリスタの点弧動
作を促進する。端子GIおよびG7をZと接続するなら
ば、そこで取り出すことのできる正および負の点弧パル
ス電圧を制御パルスPIおよびP2として利用すること
ができる。〔発明の効果〕 本発明はトライアックが第一のサィリスタのNェミッタ
層の上および第二のサィリス夕のPェミッ夕層の上で両
サィリスタの境界範囲の中に制御可能なェミッタショー
ト路を含むゲート制御のMIS構造を備え、該MIS構
造のェミッタショート略がそれに属するェミッタ層と接
触する電極と接続された第一の導亀形の第一の半導体領
域と、それに属するェミツタ層に隣接するベース層と接
属された第一の導電形の第二の半導体領域と、これらの
領域の間に位置して半導体秦体に対して電気的に絶縁さ
れたゲートによって覆われた第二の導亀形の中間層とか
らなり、このェミッタショート略の第一の半導体領域が
それに属するェミッ夕層の緑区域において半導体素体の
界面まで延び、この界面でェミッタ層と接触する電極と
導電的に接続されているように挿入され、第二の半導体
領域が界面の中まで延びる隣接ベース層の一区域からな
りそして中間層がヱミッタ区域の一部分からなる構成と
されることにより、トライアツクにまとめられた両サィ
リスタの十分に不干渉な結合が蓬せられることにあり、
その結果スイッチング動作が電極間に印加される交流電
圧のその零電位通過の近傍における変化速度すなわち転
流dv/dtにより影響されなくなるという優れた効果
を有するそのほかに導通特性が、ェミッタショート路を
用いて得られる良好な結合により、両サィリスタ相互の
結合をよりよくする目的のため金のような付加的な再結
合中心を拡散する必要がない利点がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例の断面図、第2図は第1図の
トライアックの動作を説明する波形曲線である。 la・・・・・・Pベース層(第一サィリス夕)、lb
・・・…Pェミツタ層(第二サィリスタ)、2a,2b
・・・・・・Nベース層(両サィリスタ)、3a・・…
・Pェミツタ層(第一サィリスタ)、3b・・・・・・
Pベース層(第二サイリスタ)、NI1,N12・…・
・Nェミツタ届く第一サィリスタ)、N2・・・・・・
Nェミッタ層(第二サィリスタ)、4乃至12・・・・
・・MIS構造、EI1,E12,E13,E14,E
15,E16,E2・・・・・・磁極、17・・・・・
・点弧電極。 FIGIFIG2

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 二つの電極の間に配された多層半導体素体を持ち、
    その第一層が第一のサイリスタのPベース層と第二のサ
    イリスタのPエミツタ層を形成し、第二層が両サイリス
    タのNベース層を成しそして第三層が第一のサイリスタ
    のPエミツタ層と第二のサイリスタのPベース層を形成
    し、第一層の中に第一のサイリスタのNエミツタ層が、
    第三層の中の第二のサイリスタのNエミツタ層がそれぞ
    れ電極と接続された層として挿入されたものにおいて、
    第一のサイリスタのNエミツタ層の上および第二のサイ
    リスタのPエミツタ層の上で両サイリスタの境界範囲の
    中に制御可能なエミツタシヨート路を含むゲート制御の
    MIS構造を備え、該MIS構造のエミツタシヨート路
    がそれに属するエミツタ層と接触する電極と接続された
    第一の導電形の第一の半導体領域と、それに属するエミ
    ツタ層に隣接するベース層と接続された第一の導電形の
    第二の半導体領域と、これらの領域の間に位置して半導
    体素体に対し電気的に絶縁されたゲートによつて覆われ
    た第二の導電形の中間層とからなり、このエミツタシヨ
    ート路の第一の半導体領域がそれに属するエミツタ層の
    縁区域において半導体素体の界面まで延び、この界面で
    エミツタ層と接触する電極と導電的に接属されているよ
    うに挿入され、第二の半導体領域が界面の中まで延びる
    隣接ベース層の一区域からなりそして中間層がエミツタ
    区域の一部分からなることを特徴とするトライアツク。 2 特許請求の範囲第1項に記載のトライアツクにおい
    て、第1のサイリスタのNエミツタ層と第二のサイリス
    タのPエミツタ層が互に対向する側においてそれぞれエ
    ミツタ層に接触する電極の部分を備えた条状の層部分に
    配分され、複数の制御可能なエミツタシヨート路が条状
    層部分に対し縁部において配置されたことを特徴とする
    トライアツク。3 特許請求の範囲第1項または、第2
    項に記載のトライアツクにおいて、両サイリスタの制御
    されるエミツタシヨート路が共通の制御端子を有するこ
    とを特徴とするトライアツク。 4 特許請求の範囲第1項ないし第3項のいずれかに記
    載のトライアツクにおいて、一方のサイリスタのPベー
    ス層に、点弧電流回路のための端子を有し、この端子は
    、このベース層に挿入されこれと逆の導電形にドーピン
    グされた制御領域と接触する点弧電極に接続されている
    ことを特徴とするトライアツク。 5 特許請求の範囲第3項記載のトライアツクにおいて
    、共通の制御端子が点弧電流回路の端子と接続されたこ
    とを特徴とするトライアツク。
JP55158066A 1979-11-09 1980-11-10 トライアツク Expired JPS6040193B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2945380.3 1979-11-09
DE19792945380 DE2945380A1 (de) 1979-11-09 1979-11-09 Triac mit einem mehrschichten-halbleiterkoerper

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5683071A JPS5683071A (en) 1981-07-07
JPS6040193B2 true JPS6040193B2 (ja) 1985-09-10

Family

ID=6085629

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP55158066A Expired JPS6040193B2 (ja) 1979-11-09 1980-11-10 トライアツク

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4611128A (ja)
EP (1) EP0028799B1 (ja)
JP (1) JPS6040193B2 (ja)
BR (1) BR8007246A (ja)
CA (1) CA1145058A (ja)
DE (1) DE2945380A1 (ja)

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