JPS6144823B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6144823B2 JPS6144823B2 JP18579482A JP18579482A JPS6144823B2 JP S6144823 B2 JPS6144823 B2 JP S6144823B2 JP 18579482 A JP18579482 A JP 18579482A JP 18579482 A JP18579482 A JP 18579482A JP S6144823 B2 JPS6144823 B2 JP S6144823B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- glass
- fluorine
- flame
- sio
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/36—Fuel or oxidant details, e.g. flow rate, flow rate ratio, fuel additives
- C03B2207/38—Fuel combinations or non-standard fuels, e.g. H2+CH4, ethane
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
- Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Description
発明の技術分野
本発明は光フアイバのクラツド材、赤外線透過
用光フアイバなどの特殊な目的に用いるコア材、
その他弗素を含有させたことによる低屈折率・低
分散ガラスとして用いる不純物の極めて少ない弗
素含有ガラスの製造方法に関するものである。 技術の背景 従来、気相反応によるガラスの合成法として
は、酸水素炎を用いた火炎加水分解によりSiO2
などを合成する方法が知られている。この方法
は、火炎を用いるためエネルギの集中度がよく熱
効率がよく、また加水分解は反応速度が早いため
合成速度を上げることができるなどの特徴を有し
ている。然し、フロンガスなどを原料ガスに添加
して、弗素をガラス(たとえばSiO2)中に添加し
ようとしても殆んどドープできない。これを次の
(1)乃至(6)などに示す反応が主に生じるが、H2Oが
多量に存在すると、(5)に示す反応により、(2),
(3),(4)の反応が阻害され、弗素の含有に必要な
SiO1.5F,SiCl3F濃度が低下する一方、(6)による
SiO2の核形成が阻害され、固相ガラスの堆積量
が減少するためと考えられる。 (1) SiCl4+2H2O→SiO2+4HCl (2) COl2F2+O2→CO2+Cl2+2(F) (3) SiCl4+(F)→SiCl3F+1/2Cl2 (4) SiO2+(F)→SiO1.5F+1/4O2 (5) CCl2F2+2H2O →CO2+2HCl+2HF (6) SiO2+4HF→SiF4+2H2O 従来技術と問題点 従来のガラス合成法の一つである酸水素炎を用
いた火炎加水分解によりSiO2などを合成する方
法では、前に述べたようにガラスに弗素を含有さ
せることは殆んどできなかつた。また水の関与し
ない反応をより多くさせることにより弗素収率を
上げることを目的として、電磁気的エネルギによ
り炎を形成するプラズマ炎を用いる方法がある
が、このプラズマ炎を用いる方法は設備が極めて
大形になり、したがつて設備価格が高く、またト
ーチの劣化などが生じ易く安定運転が難かしいな
どの点で高度の技術を必要とするという問題があ
つた。 発明の目的 本発明は従来の問題点を解決するもので、ガラ
ス合成用原料にハロゲン化物及び弗素含有気体を
用い、火炎形成用ガスに分子構成元素比でH/C
が1.0を含む1.0以下の炭水素ガスまたは水素元素
を含まないガスを用いて火炎反応を行うことを特
徴とし、その目的は低価格で高純度の弗素含有ガ
ラスを製造する方法を提供するものである。 発明の実施例 本発明は、ガラス合成用原料としてSiCl4など
のハロゲン化合物及びフロンガスなどの弗素含有
気体を用い、火炎形成用ガスとして、該ガスの分
子を構成する元素比でH/Cが1.0を含む1.0以下
の水素含有度の炭化水素ガスまたはCO,C2N2,
NOX,CS2など水素を含有しないガスを用いて火
炎反応を行うことを特徴とする。さらに前記火炎
形成用ガスとしては、高温が得られ、かつ毒性が
低いため取扱い易いC2H2ガスを用いるのが好都
合である。ガラス中の弗素濃度をさらに上げたい
場合には、CO,C2N2,NOX,CS2などの水素を
全く含まないガスがよい。また反応速度を上げた
いなどのためにより高温が必要なときにはC2N2
がよい。弗素含有気体としては、フロンガスたと
えばCCl2F2などが安価で入手し易く、また取扱
い易いので好適である。本発明によると石英ガラ
スに弗素をドープしたガラスで、弗素濃度として
約1wt%程度(SiO2との比屈折率差で0.3%程
度)のものが比較的簡単に得ることができる。火
炎形成用ガスとして、分子を構成する元素比で
H/Cが1以上の炭化水素を用いた場合、ガラス
中の弗素含有濃度が急に低下し、弗素濃度で1wt
%程度のガラスを得ることは容易でなかつた。 以下本発明の実施例を示す。 実施例 1 ガラス合成用原料としてSiCl4,CCl2F2を用い
火炎形成用ガスとしてC2H2ガスを用い、次表に
示す条件にてこれらのガスを同心円状4重管バー
ナに導入し、火炎を形成すると同時に、ガラス微
粒子を発生させ、回転し左右に移動する石英棒上
に、上記ガラス微粒子を堆積させた。
用光フアイバなどの特殊な目的に用いるコア材、
その他弗素を含有させたことによる低屈折率・低
分散ガラスとして用いる不純物の極めて少ない弗
素含有ガラスの製造方法に関するものである。 技術の背景 従来、気相反応によるガラスの合成法として
は、酸水素炎を用いた火炎加水分解によりSiO2
などを合成する方法が知られている。この方法
は、火炎を用いるためエネルギの集中度がよく熱
効率がよく、また加水分解は反応速度が早いため
合成速度を上げることができるなどの特徴を有し
ている。然し、フロンガスなどを原料ガスに添加
して、弗素をガラス(たとえばSiO2)中に添加し
ようとしても殆んどドープできない。これを次の
(1)乃至(6)などに示す反応が主に生じるが、H2Oが
多量に存在すると、(5)に示す反応により、(2),
(3),(4)の反応が阻害され、弗素の含有に必要な
SiO1.5F,SiCl3F濃度が低下する一方、(6)による
SiO2の核形成が阻害され、固相ガラスの堆積量
が減少するためと考えられる。 (1) SiCl4+2H2O→SiO2+4HCl (2) COl2F2+O2→CO2+Cl2+2(F) (3) SiCl4+(F)→SiCl3F+1/2Cl2 (4) SiO2+(F)→SiO1.5F+1/4O2 (5) CCl2F2+2H2O →CO2+2HCl+2HF (6) SiO2+4HF→SiF4+2H2O 従来技術と問題点 従来のガラス合成法の一つである酸水素炎を用
いた火炎加水分解によりSiO2などを合成する方
法では、前に述べたようにガラスに弗素を含有さ
せることは殆んどできなかつた。また水の関与し
ない反応をより多くさせることにより弗素収率を
上げることを目的として、電磁気的エネルギによ
り炎を形成するプラズマ炎を用いる方法がある
が、このプラズマ炎を用いる方法は設備が極めて
大形になり、したがつて設備価格が高く、またト
ーチの劣化などが生じ易く安定運転が難かしいな
どの点で高度の技術を必要とするという問題があ
つた。 発明の目的 本発明は従来の問題点を解決するもので、ガラ
ス合成用原料にハロゲン化物及び弗素含有気体を
用い、火炎形成用ガスに分子構成元素比でH/C
が1.0を含む1.0以下の炭水素ガスまたは水素元素
を含まないガスを用いて火炎反応を行うことを特
徴とし、その目的は低価格で高純度の弗素含有ガ
ラスを製造する方法を提供するものである。 発明の実施例 本発明は、ガラス合成用原料としてSiCl4など
のハロゲン化合物及びフロンガスなどの弗素含有
気体を用い、火炎形成用ガスとして、該ガスの分
子を構成する元素比でH/Cが1.0を含む1.0以下
の水素含有度の炭化水素ガスまたはCO,C2N2,
NOX,CS2など水素を含有しないガスを用いて火
炎反応を行うことを特徴とする。さらに前記火炎
形成用ガスとしては、高温が得られ、かつ毒性が
低いため取扱い易いC2H2ガスを用いるのが好都
合である。ガラス中の弗素濃度をさらに上げたい
場合には、CO,C2N2,NOX,CS2などの水素を
全く含まないガスがよい。また反応速度を上げた
いなどのためにより高温が必要なときにはC2N2
がよい。弗素含有気体としては、フロンガスたと
えばCCl2F2などが安価で入手し易く、また取扱
い易いので好適である。本発明によると石英ガラ
スに弗素をドープしたガラスで、弗素濃度として
約1wt%程度(SiO2との比屈折率差で0.3%程
度)のものが比較的簡単に得ることができる。火
炎形成用ガスとして、分子を構成する元素比で
H/Cが1以上の炭化水素を用いた場合、ガラス
中の弗素含有濃度が急に低下し、弗素濃度で1wt
%程度のガラスを得ることは容易でなかつた。 以下本発明の実施例を示す。 実施例 1 ガラス合成用原料としてSiCl4,CCl2F2を用い
火炎形成用ガスとしてC2H2ガスを用い、次表に
示す条件にてこれらのガスを同心円状4重管バー
ナに導入し、火炎を形成すると同時に、ガラス微
粒子を発生させ、回転し左右に移動する石英棒上
に、上記ガラス微粒子を堆積させた。
【表】
この堆積体を約1300℃の炉内に挿入し、溶融透
明化した。得られた透明ガラスの屈折率値を測定
した所、SiO2に比べ約0.4%低いガラスが得られ
た。 なお比較のため、本発明のC2H2ガスのかわり
として 火炎形成用ガスとしてH2を用い、その他の条
件としては実施例1とほぼ同様の条件にてガラス
を合成したところ、その屈折率値は、SiO2に比
べ、0.1〜0.2%低いガラスであつた。 実施例 2 火炎形成用ガスとしてC2N2を用いその他の条
件としては、実施例1とほぼ同様な条件にて火炎
を形成し、ガラス微粒子を発生させ、回転し、左
右に移動する石英棒上に上記ガラス微粒子を堆積
させ、この時移動させる速度を調節して、上記火
炎の加熱を利用し堆積部の温度を高く保持するこ
とにより溶融状態にてガラス層を形成した。得ら
れたガラスの屈折率値として、SiO2に比べ約0.5
%低いものが得られた。 発明の効果 以上述べたように、本発明の水の関与しない反
応をより多くさせることにより弗素収率を上げる
ことを特徴とする弗素含有ガラスの製法により、
比較的単純な原料系をもつ設備で製造工程を構成
でき、また長時間の安定な合成が可能であり、経
済性に富んだ高純度の弗素含有ガラスの合成がで
き、光フアイバのクラツド材、赤外線透過用光フ
アイバなどの特殊な目的に用いるコア材その他弗
素を含有させたことによる低屈折率・低分散ガラ
ス等に用いる高純度弗素含有ガラスの製造に適用
して効果が大である。
明化した。得られた透明ガラスの屈折率値を測定
した所、SiO2に比べ約0.4%低いガラスが得られ
た。 なお比較のため、本発明のC2H2ガスのかわり
として 火炎形成用ガスとしてH2を用い、その他の条
件としては実施例1とほぼ同様の条件にてガラス
を合成したところ、その屈折率値は、SiO2に比
べ、0.1〜0.2%低いガラスであつた。 実施例 2 火炎形成用ガスとしてC2N2を用いその他の条
件としては、実施例1とほぼ同様な条件にて火炎
を形成し、ガラス微粒子を発生させ、回転し、左
右に移動する石英棒上に上記ガラス微粒子を堆積
させ、この時移動させる速度を調節して、上記火
炎の加熱を利用し堆積部の温度を高く保持するこ
とにより溶融状態にてガラス層を形成した。得ら
れたガラスの屈折率値として、SiO2に比べ約0.5
%低いものが得られた。 発明の効果 以上述べたように、本発明の水の関与しない反
応をより多くさせることにより弗素収率を上げる
ことを特徴とする弗素含有ガラスの製法により、
比較的単純な原料系をもつ設備で製造工程を構成
でき、また長時間の安定な合成が可能であり、経
済性に富んだ高純度の弗素含有ガラスの合成がで
き、光フアイバのクラツド材、赤外線透過用光フ
アイバなどの特殊な目的に用いるコア材その他弗
素を含有させたことによる低屈折率・低分散ガラ
ス等に用いる高純度弗素含有ガラスの製造に適用
して効果が大である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 ガラス合成用原料を火炎に導入し、火炎中で
該ガラス合成用原料を反応させて微粒子を形成せ
しめ、該形成された微粒子を出発材料に堆積させ
てガラスを合成する方法において、前記ガラス合
成用原料はSiCl4及び弗素含有気体からなり、前
記火炎形成用ガスは分子構成元素比でH/Cが
1.0以下の炭化水素ガスまたは水素元素を含まな
いガスからなることを特徴とする弗素含有ガラス
の製造方法。 2 前記H/Cが1.0以下の炭化水素ガスがアセ
チレンガスからなることを特徴とする特許請求の
範囲第1項記載の弗素含有ガラスの製造方法。 3 前記水素元素を含まないガスが、CO,
C2N2,CS2または窒素酸化物からなることを特徴
とする特許請求の範囲第1項記載の弗素含有ガラ
スの製造方法。 4 前記弗素含有気体がフロンガスからなること
を特徴とする特許請求の範囲第1項記載の弗素含
有ガラスの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18579482A JPS5978943A (ja) | 1982-10-22 | 1982-10-22 | 弗素含有ガラスの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18579482A JPS5978943A (ja) | 1982-10-22 | 1982-10-22 | 弗素含有ガラスの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5978943A JPS5978943A (ja) | 1984-05-08 |
| JPS6144823B2 true JPS6144823B2 (ja) | 1986-10-04 |
Family
ID=16177002
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18579482A Granted JPS5978943A (ja) | 1982-10-22 | 1982-10-22 | 弗素含有ガラスの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5978943A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6117432A (ja) * | 1984-07-02 | 1986-01-25 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光フアイバ用母材の製造方法 |
| JPS6172643A (ja) * | 1984-09-19 | 1986-04-14 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光フアイバ用母材の製造方法 |
| JPH0558661A (ja) * | 1991-08-27 | 1993-03-09 | Fujikura Ltd | 光フアイバ母材の製造方法 |
-
1982
- 1982-10-22 JP JP18579482A patent/JPS5978943A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5978943A (ja) | 1984-05-08 |
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