JPH0827973B2 - 光記録媒体 - Google Patents
光記録媒体Info
- Publication number
- JPH0827973B2 JPH0827973B2 JP63159674A JP15967488A JPH0827973B2 JP H0827973 B2 JPH0827973 B2 JP H0827973B2 JP 63159674 A JP63159674 A JP 63159674A JP 15967488 A JP15967488 A JP 15967488A JP H0827973 B2 JPH0827973 B2 JP H0827973B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording
- recording medium
- optical recording
- tellurium
- selenium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
- Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光記録媒体、特にレーザ光によって情報を
記録再生することのできる光記録媒体に関する。
記録再生することのできる光記録媒体に関する。
従来の光記録媒体は、レーザ光によって情報を媒体に
記録し、かつ再生する場合記録密度が高いところから大
容量記録装置として優れた特徴を有している。この光記
録媒体の材料としては、最初にタンタルと鉛が使用され
た｛サイエンス（Science）．154,1550,1966｝。それ以
来種々の材料が使用されているが、テルル等のカルコゲ
ン元素またはこれらの化合物はよく使用されており、
（特公昭47−26897号公報）、とくにテルルセレン系合
金はよく使用されている（特公昭54−41902号公報、特
公昭57−7919号公報、特公昭57−56058号公報）。
記録し、かつ再生する場合記録密度が高いところから大
容量記録装置として優れた特徴を有している。この光記
録媒体の材料としては、最初にタンタルと鉛が使用され
た｛サイエンス（Science）．154,1550,1966｝。それ以
来種々の材料が使用されているが、テルル等のカルコゲ
ン元素またはこれらの化合物はよく使用されており、
（特公昭47−26897号公報）、とくにテルルセレン系合
金はよく使用されている（特公昭54−41902号公報、特
公昭57−7919号公報、特公昭57−56058号公報）。
このテルル−セレン系合金を光記録層として用いた光
記録媒体の１例は第１図に示すような構成になってい
る。すなわち基板１に隣接してテルル−セレン系合金よ
りなる記録層21が設けられている。記録用レーザ光は基
板１を通して記録層21に集光照射され、ピット22が形成
される。基板１としてはポリカーボネート，ポリオレフ
ィン，ポリメチルペンテン，アクリル，エポキシ樹脂等
の合成樹脂やガラスが使用され、基板１にはピットが同
心円状あるいはスパイラル状に一定間隔で精度よく記録
されるように通常、案内溝が設けられている。
記録媒体の１例は第１図に示すような構成になってい
る。すなわち基板１に隣接してテルル−セレン系合金よ
りなる記録層21が設けられている。記録用レーザ光は基
板１を通して記録層21に集光照射され、ピット22が形成
される。基板１としてはポリカーボネート，ポリオレフ
ィン，ポリメチルペンテン，アクリル，エポキシ樹脂等
の合成樹脂やガラスが使用され、基板１にはピットが同
心円状あるいはスパイラル状に一定間隔で精度よく記録
されるように通常、案内溝が設けられている。
レーザビーム径程度の幅の溝に光が入射すると光は回
折され、ビーム中心が溝からずれるにつれて回折光強度
の空間分布が変化するので、これを検出してレーザビー
ムを溝の中心に入射させるようにサーボ系が構成されて
いる。溝の幅は通常0.3〜1.3μｍであり、溝の深さは使
用するレーザ波長の1/20から1/4の範囲に設定される。
集光に関しても同様にサーボ系が構成されている。
折され、ビーム中心が溝からずれるにつれて回折光強度
の空間分布が変化するので、これを検出してレーザビー
ムを溝の中心に入射させるようにサーボ系が構成されて
いる。溝の幅は通常0.3〜1.3μｍであり、溝の深さは使
用するレーザ波長の1/20から1/4の範囲に設定される。
集光に関しても同様にサーボ系が構成されている。
情報の読み出しは、記録のときよりも弱いパワーのレ
ーザ光をピット上を通過するように照射することによ
り、ピットの有無に起因する反射率の変化を検出して行
なう。
ーザ光をピット上を通過するように照射することによ
り、ピットの有無に起因する反射率の変化を検出して行
なう。
近年、記録装置を小型化するため、レーザ光源として
は半導体レーザが使用されてきている。半導体レーザは
発振波長が8000Å前後であるが、テルル−セレン系合金
はこの波長帯にも比較的よく適合し、適度な反射率と適
度な吸収率が得られる｛フィジカ・スティタス・ソリダ
イ，7,189,1964（Phys,stat.sol.7,189,1964）｝。
は半導体レーザが使用されてきている。半導体レーザは
発振波長が8000Å前後であるが、テルル−セレン系合金
はこの波長帯にも比較的よく適合し、適度な反射率と適
度な吸収率が得られる｛フィジカ・スティタス・ソリダ
イ，7,189,1964（Phys,stat.sol.7,189,1964）｝。
記録層21としては種々の材料を使用できる。
その中でもテルルは比較的記録再生特性が良好であ
る。しかしながら高温高湿環境における酸化劣化がはげ
しいので実用には供せなかった。また、感度的にもやや
不足であった。感度不足を解決する１つとして、加熱時
に窒素が遊離して高感度化するようにテルル膜に窒素を
含ませることが提案されている（特開昭57−58250）。
る。しかしながら高温高湿環境における酸化劣化がはげ
しいので実用には供せなかった。また、感度的にもやや
不足であった。感度不足を解決する１つとして、加熱時
に窒素が遊離して高感度化するようにテルル膜に窒素を
含ませることが提案されている（特開昭57−58250）。
この公知例を追試して光記録媒体を作製し記録再生特
性を評価したところ小型大容量記録装置の光源である半
導体レーザ波長（およそ8300Å）ではほとんど吸収しな
いため感度不足であった。また、窒素が遊離しやすいた
め、高温高湿環境における保存性が充分ではなかった。
性を評価したところ小型大容量記録装置の光源である半
導体レーザ波長（およそ8300Å）ではほとんど吸収しな
いため感度不足であった。また、窒素が遊離しやすいた
め、高温高湿環境における保存性が充分ではなかった。
また、上記提案のように窒素ガス中でスパッタリング
して成膜するのではなく、アルゴンと窒素との混合ガス
中でスパッタリングして成膜するということも提案され
ている（アプライド・フィジックレターズ（Appl.Phyz.
Lett,45,202,1987））。
して成膜するのではなく、アルゴンと窒素との混合ガス
中でスパッタリングして成膜するということも提案され
ている（アプライド・フィジックレターズ（Appl.Phyz.
Lett,45,202,1987））。
しかしながら、これでもまだ充分な記録感度と充分な
信号品質は得られなかった。
信号品質は得られなかった。
このため、テルルセレン合金ターゲットをアルゴンと
窒素との混合ガスでスパッタリングすることにより記録
層がテルルとセレンと窒素とからなり、耐候性がよく高
感度で信号品質の良好な光記録媒体が得られることを見
出し、すでに本発明者等は提案している（特願昭61−10
1368）。
窒素との混合ガスでスパッタリングすることにより記録
層がテルルとセレンと窒素とからなり、耐候性がよく高
感度で信号品質の良好な光記録媒体が得られることを見
出し、すでに本発明者等は提案している（特願昭61−10
1368）。
この記録層が耐候性よく高感度で信号品質が良好であ
る理由は、セレンを入れることで系全体の融点が低下し
たことと窒化セレン，窒化テルルの爆発性とがあいあわ
さって小穴の形成から表面張力による孔の拡張が比較的
低い温度で生じるようになったために高感度化したと思
われ、テルルと窒化テルルとセレンと窒化セレンとの相
互作用が好都合に作用して耐候性が向上し、信号品質が
向上したものと思われる。
る理由は、セレンを入れることで系全体の融点が低下し
たことと窒化セレン，窒化テルルの爆発性とがあいあわ
さって小穴の形成から表面張力による孔の拡張が比較的
低い温度で生じるようになったために高感度化したと思
われ、テルルと窒化テルルとセレンと窒化セレンとの相
互作用が好都合に作用して耐候性が向上し、信号品質が
向上したものと思われる。
このような光記録媒体においても、高温高湿度環境に
長時間保存しておくと、その記録感度が変化するという
問題点があることがわかった。本発明者は、テルル−セ
レン窒素膜を結晶化させ、その結晶粒界を酸化させて記
録膜とすることにより耐候性がよく、かつ、高感度で信
号品質が良好であり、記録パワーの余裕度が大きい光記
録媒体が得られることを見出し、既に提案している。
長時間保存しておくと、その記録感度が変化するという
問題点があることがわかった。本発明者は、テルル−セ
レン窒素膜を結晶化させ、その結晶粒界を酸化させて記
録膜とすることにより耐候性がよく、かつ、高感度で信
号品質が良好であり、記録パワーの余裕度が大きい光記
録媒体が得られることを見出し、既に提案している。
このような良好な記録媒体であっても、85℃90％の高
温高湿度の環境に200時間保存した後では、保存データ
のビット誤り率に変化はないものの、膜表面には0.01〜
0.1μｍ程度の粒状の突起物が発生していた。
温高湿度の環境に200時間保存した後では、保存データ
のビット誤り率に変化はないものの、膜表面には0.01〜
0.1μｍ程度の粒状の突起物が発生していた。
しかしながら、このような従来の光記録媒体は、テル
ル−セレン系合金膜ではあるが耐候性が悪く、かつ、記
録再生信号の品質が不安定であるという欠点があった。
ル−セレン系合金膜ではあるが耐候性が悪く、かつ、記
録再生信号の品質が不安定であるという欠点があった。
本発明の目的は、耐候性がよく、かつ、高感度で信号
品質が良好であり、記録パワーの余裕度が大きく、か
つ、高温高湿度環境に長時間保存しておいても媒体特性
に変化がない光記録媒体を提供することにある。
品質が良好であり、記録パワーの余裕度が大きく、か
つ、高温高湿度環境に長時間保存しておいても媒体特性
に変化がない光記録媒体を提供することにある。
本発明の光記録媒体は、基板と、レーザ光によって一
部が選択的に除去されて情報を記録する前記基板上に形
成された記録層とを少なくとも有するものであって、前
記記録層がテルルとセレンと鉛と窒素と酸素とを主成分
とする結晶質の膜であり、記録層の表面側の鉛の含有量
を中央の部分よりも多くしたように構成される。
部が選択的に除去されて情報を記録する前記基板上に形
成された記録層とを少なくとも有するものであって、前
記記録層がテルルとセレンと鉛と窒素と酸素とを主成分
とする結晶質の膜であり、記録層の表面側の鉛の含有量
を中央の部分よりも多くしたように構成される。
すなわち、本発明の光記録媒体は、テルルとセレンと
鉛と窒素と酸素とを主成分とする結晶質の記録膜とする
ことにより、上記の粒状突起物の発生を抑止し得ること
がわかったが、鉛の含有量を大きくしすぎると、記録膜
が酸化されやすくなることを見出し、本発明に至ったも
のであり、高温高湿度環境下での粒状突起物の発生は記
録膜物質の界面移動であるので、記録膜界面では鉛の含
有量を大きくし、粒状突起物の発生を抑止するととも
に、記録膜中央部の鉛の含有量を少なくして平均的な含
有量を少なくすることにより、記録膜が酸化されやすく
なることを防いで構成される。
鉛と窒素と酸素とを主成分とする結晶質の記録膜とする
ことにより、上記の粒状突起物の発生を抑止し得ること
がわかったが、鉛の含有量を大きくしすぎると、記録膜
が酸化されやすくなることを見出し、本発明に至ったも
のであり、高温高湿度環境下での粒状突起物の発生は記
録膜物質の界面移動であるので、記録膜界面では鉛の含
有量を大きくし、粒状突起物の発生を抑止するととも
に、記録膜中央部の鉛の含有量を少なくして平均的な含
有量を少なくすることにより、記録膜が酸化されやすく
なることを防いで構成される。
次に、本発明の実施例について説明する。
まず、第１の実施例について以下に説明する。
100℃で２時間アニール処理した内径15mm,外径130mm,
厚さ1.2mmの案内溝付き射出成形ポリカーボネイト樹脂
ディスク基板上に、原子％で71対20対９のテルル−セレ
ン−鉛ターゲットをアルゴンと窒素との混合ガスでスパ
ッタリングして約30Å厚形成し、ひきつづきその上に原
子％で75対20対５のテルル−セレン−鉛ターゲットをア
ルゴンと窒素との混合ガスでスパッタリングして約190
Å厚形成し、さらにひきつづきその上に原子％で71対20
対９のテルル−セレン−鉛ターゲットをアルゴンと窒素
との混合ガスでスパッタリングして約30Å厚形成した。
厚さ1.2mmの案内溝付き射出成形ポリカーボネイト樹脂
ディスク基板上に、原子％で71対20対９のテルル−セレ
ン−鉛ターゲットをアルゴンと窒素との混合ガスでスパ
ッタリングして約30Å厚形成し、ひきつづきその上に原
子％で75対20対５のテルル−セレン−鉛ターゲットをア
ルゴンと窒素との混合ガスでスパッタリングして約190
Å厚形成し、さらにひきつづきその上に原子％で71対20
対９のテルル−セレン−鉛ターゲットをアルゴンと窒素
との混合ガスでスパッタリングして約30Å厚形成した。
しかる後、温度85℃相対湿度90％の環境に12時間保存
することにより結晶質にし、その結晶粒界を酸化させる
ことにより、光記録媒体を製作した。
することにより結晶質にし、その結晶粒界を酸化させる
ことにより、光記録媒体を製作した。
この光記録媒体の波長8300Åにおける基板への入射の
ランド部の反射率を測定したところ、およそ32％であっ
た。波長8300Åの半導体レーザ光を基板を通して入射し
て記録層上で1.6μｍφ程度に絞り、媒体線速度5.65m/
sec，記録周波数3.77MHz,記録パルス幅70nsec，記録パ
ワー5.4mWの条件でランド部に記録し、0.7mWの一定パワ
ーで再生した。バンド幅30KHzのキャリアーとノイズの
比（C/N）は51dBと良好であった。
ランド部の反射率を測定したところ、およそ32％であっ
た。波長8300Åの半導体レーザ光を基板を通して入射し
て記録層上で1.6μｍφ程度に絞り、媒体線速度5.65m/
sec，記録周波数3.77MHz,記録パルス幅70nsec，記録パ
ワー5.4mWの条件でランド部に記録し、0.7mWの一定パワ
ーで再生した。バンド幅30KHzのキャリアーとノイズの
比（C/N）は51dBと良好であった。
この光記録媒体を85℃90％の高温高湿度環境に長時間
保存しても、膜表面に粒状突起物が発生しないことを確
認した。
保存しても、膜表面に粒状突起物が発生しないことを確
認した。
また、85℃90％の高温高湿度の環境に600時間保存し
た後に記録感度特性，ビット誤り率を調べたが、実用上
変化はなく、耐候性に優れた光記録媒体であることが確
認された。
た後に記録感度特性，ビット誤り率を調べたが、実用上
変化はなく、耐候性に優れた光記録媒体であることが確
認された。
記録層の厚さは160Å以上400Å以下の範囲が記録再生
特性の観点から望ましく、セレンの含有量は原子％で９
％以上35％未満の範囲が記録再生特性，耐候性の観点か
ら望ましく、鉛の含有量は記録層全体での平均として原
子％で１％以上10％以下の範囲が耐候性の観点から望ま
しく、窒素の含有量は原子％で0.5％以上10％以下の範
囲が記録再生特性の観点から望ましく、窒素の含有量は
原子％でおよそ５％から25％の範囲が記録再生特性，耐
候性の観点から望ましい。
特性の観点から望ましく、セレンの含有量は原子％で９
％以上35％未満の範囲が記録再生特性，耐候性の観点か
ら望ましく、鉛の含有量は記録層全体での平均として原
子％で１％以上10％以下の範囲が耐候性の観点から望ま
しく、窒素の含有量は原子％で0.5％以上10％以下の範
囲が記録再生特性の観点から望ましく、窒素の含有量は
原子％でおよそ５％から25％の範囲が記録再生特性，耐
候性の観点から望ましい。
本発明の光記録媒体は、記録層をテルルとセレンと鉛
と窒素と酸素とを主成分とする結晶質とし、鉛の含有量
を厚さ方向に異なるようにすることにより、耐候性がよ
く、かつ高感度で信号品質が良好であり、記録パワーの
余裕度が大きく、かつ、高温高湿度環境に長時間保存し
ておいても媒体特性に変化をなくすることができるとい
う効果がある。
と窒素と酸素とを主成分とする結晶質とし、鉛の含有量
を厚さ方向に異なるようにすることにより、耐候性がよ
く、かつ高感度で信号品質が良好であり、記録パワーの
余裕度が大きく、かつ、高温高湿度環境に長時間保存し
ておいても媒体特性に変化をなくすることができるとい
う効果がある。
第１図は本発明および従来の光記録媒体の１例を示す部
分断面図である。 １……基板、21……記録層、22……ピット。
分断面図である。 １……基板、21……記録層、22……ピット。
Claims (1)
- 【請求項１】基板と、前記基板上に形成されたテルルと
セレンと鉛と窒素とを主成分とする結晶質の膜で形成さ
れる記録層を含む光記録媒体であって、 前記記録層の表面側の鉛含有量を中央の部分よりも大き
くしたことを特徴とする光記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63159674A JPH0827973B2 (ja) | 1988-06-27 | 1988-06-27 | 光記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63159674A JPH0827973B2 (ja) | 1988-06-27 | 1988-06-27 | 光記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH029031A JPH029031A (ja) | 1990-01-12 |
| JPH0827973B2 true JPH0827973B2 (ja) | 1996-03-21 |
Family
ID=15698856
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63159674A Expired - Lifetime JPH0827973B2 (ja) | 1988-06-27 | 1988-06-27 | 光記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0827973B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE69738285T2 (de) * | 1996-09-06 | 2008-02-28 | Ricoh Co., Ltd. | Optisches Speichermedium |
| US12030878B2 (en) * | 2017-12-15 | 2024-07-09 | Bristol-Myers Squibb Company | Substituted indole ether compounds |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5853488A (ja) * | 1981-09-24 | 1983-03-30 | Hitachi Ltd | 情報の記録用部材 |
| JPS6349494A (ja) * | 1986-08-19 | 1988-03-02 | Nec Corp | 光記録媒体 |
| JPH0649391B2 (ja) * | 1986-10-27 | 1994-06-29 | ダイセル化学工業株式会社 | Ｄｒａｗ用光記録媒体 |
-
1988
- 1988-06-27 JP JP63159674A patent/JPH0827973B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH029031A (ja) | 1990-01-12 |
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